abcsxg 发表于 2011-2-18 10:16:18

三氯氢硅尾气大的原因

想请教:三氯氢硅尾气大的原因是什么?

rhk2009 发表于 2011-2-18 10:21:22

意思没描述清楚,是不是指TCS合成,还是还原尾气

abcsxg 发表于 2011-2-18 11:29:40

回复 2# rhk2009
    三氯氢硅尾气大的原因

king拼搏 发表于 2011-2-18 22:42:44

回复 1# abcsxg
    表达不清楚,不明白你的意思!

wuhao3690 发表于 2011-2-19 13:57:48

可能是反应的不好

lcx8642 发表于 2011-2-19 16:56:20

硅粉反应不好,总体讲是硅粉活性差
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