abcsxg
发表于 2011-2-18 10:16:18
三氯氢硅尾气大的原因
想请教:三氯氢硅尾气大的原因是什么?
rhk2009
发表于 2011-2-18 10:21:22
意思没描述清楚,是不是指TCS合成,还是还原尾气
abcsxg
发表于 2011-2-18 11:29:40
回复 2# rhk2009
三氯氢硅尾气大的原因
king拼搏
发表于 2011-2-18 22:42:44
回复 1# abcsxg
表达不清楚,不明白你的意思!
wuhao3690
发表于 2011-2-19 13:57:48
可能是反应的不好
lcx8642
发表于 2011-2-19 16:56:20
硅粉反应不好,总体讲是硅粉活性差
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