123419628 发表于 2011-2-19 13:04:12

沉积时间的划分

在硅棒沉积的过程中前期、中期、后期是怎样划分的，各个期间的温度该怎样控制？

730102321 发表于 2011-2-20 10:43:12

楼下的回答，

chengerqing2272 发表于 2011-2-21 13:46:49

总体而言温度是缓慢下降的
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