sanmily 发表于 2011-2-17 15:10:17

还原炉后期温度控制

我们这边是新开的多晶硅厂，我想跟大家谈论的是，怎样对待电耗，特别是象硅棒到后期的时候怎样控制电流，
后期电流高了炉内会产生雾化现象，怎样做到似雾非雾，同时能让三氯氢硅发生热分解？增快硅棒生产

yuanrs 发表于 2011-2-17 19:17:42

电流高了炉内会产生雾化现象吗？我好象没发现。

447671239 发表于 2011-2-18 00:43:06

热分解了你就哭吧！分解的四氯化硅看你怎么办？你们有冷氢化吗？没有就不要雾化了

king拼搏 发表于 2011-2-19 14:44:18

回复 1# sanmily
    我个人认为雾化现象主要是因为电流过低，温度提不上去，进料量过大的原因！

surely 发表于 2011-2-22 16:55:58

个人认为雾化是一种反应，而在在这种反应下硅的沉积速度比较快，而且电耗相对低，但是严重的雾化会产生很多的硅粉，对设备造成影响。但是三氯氢硅热分解就会影响反应，硅沉积快的主反应应该是还原，而不是热分解。
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