还原反应过程副产物的控制

chengerqing2272 发表于 2011-2-21 13:41:07

如题，在还原反应过程中如何控制来减少副产物SiCL4

luoye888 发表于 2011-2-21 14:33:36

1、控制进料比例。
2、控制好温度。
3、控制好压力。

阳光媚 发表于 2011-2-21 15:21:46

这是个很好的议题，怎样的控制能合理有效地提高转化率、减少副产物生成量。

chengerqing2272 发表于 2011-2-21 16:56:20

回复 2# luoye888
前辈能具体的说说嘛？

luoye888 发表于 2011-2-21 17:31:19

回复 4# chengerqing2272
你的tcs和氢气的比例和流速，流量会影响硅棒的质量，比如密值度，压力影响气场，温度影响温场，高了容易倒棒之类的，低了影响反应速率。

chengerqing2272 发表于 2011-2-24 12:34:27

回复 5# luoye888
嗯嗯，谢谢了啊

luoye888 发表于 2011-2-24 13:59:33

这个我自爱这里是不能说的

luoye888 发表于 2011-2-24 14:00:46

我在这里是不能说的，这也是一个职业道道问题。况且个厂都不一样。

yuan小俊 发表于 2011-2-25 10:29:04

楼上是太监。。。至于吗你，再说了，你说的就一定对！！！

surely 发表于 2011-2-28 01:56:05

如果真的能很好的控制四氯化硅的话，那还要什么热氢化和冷氢化干嘛呢。

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