rui851216 发表于 2009-9-10 10:33:45

多晶硅后处理厂房有哪些要求？

本帖最后由 zjiris 于 2009-9-10 10:46 编辑
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chwell2004 发表于 2009-9-10 13:41:27

后处理？你是指破碎包装还是单晶铸锭啊？

XNHHSDGM 发表于 2009-9-10 16:31:35

呵呵，问题不是很清楚。国内现有多晶硅厂的后处理车间基本上包括加工硅芯、破碎多晶硅块、包装等几个方面，如果硅芯的清洗也在后处理，那么就需要清洗线（包括酸洗、超纯水、干燥等）

weixinmack 发表于 2009-9-10 16:34:24

应该包含切片、倒角、研磨、抛光等工序，加之必须包含的清洗、超纯水、化学品供应（CDS）、气体净化等，应该类似于半导体工厂，

dyclyt 发表于 2009-9-18 15:01:11

以比较典型的国内设计公司定义的后处理厂房为例，完备的后处理厂房通常包括：
硅加工车间；石墨件制备间；硅芯炉间；硅芯清洗间；丫口清洗间；集中供酸及废液收集间；
磷硼检验间；色谱分析间；ICP准备及ICP间；原子吸收间；烘箱间；红外分析间；天平及显微镜间；仪器分析间；洁净衣服清洗间；成品检测间；化学分析间；样品存放间；制样间；光谱分析间；
热淬间；多晶硅周转间；多晶硅清洗间；内包装间

笨青蛙 发表于 2009-9-19 15:32:29

主要是在加工硅芯的厂房。 3# XNHHSDGM

rui851216 发表于 2009-10-16 13:39:24

这个洁净厂房是要专业的厂家来制作吧？ 4# weixinmack

rui851216 发表于 2009-10-16 13:40:23

每个单位设计时功能划分可能不太相同，但目的都一样。对硅芯加工过程中所需要的设备一般也会划归到后处理，这样就可以集中设计暖通系统了。

XNHHSDGM 发表于 2009-10-17 09:44:07

同意笨青蛙的话：
以比较典型的国内设计公司定义的后处理厂房为例，完备的后处理厂房通常包括：
硅加工车间；石墨件制备间；硅芯炉间；硅芯清洗间；丫口清洗间；集中供酸及废液收集间；
磷硼检验间；色谱分析间；ICP准备及ICP间；原子吸收间；烘箱间；红外分析间；天平及显微镜间；仪器分析间；洁净衣服清洗间；成品检测间；化学分析间；样品存放间；制样间；光谱分析间；
热淬间；多晶硅周转间；多晶硅清洗间；内包装间
我们公司就是这么上的

rammstein 发表于 2009-11-13 00:34:21

加工硅芯的厂房最好是洁净厂房。请专业的洁净厂房设计单位来做。洁净等级万级足矣。最主要是保证硅芯在生产和搬运中不受污染。
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