音速伤心了 发表于 2010-4-8 20:29:35

请教多晶硅工艺中的在线气体分析

序号 测量组份 检测目的 选用量程 仪器选型
    1 CL2 纯度 工艺控制 95.00～99.99% 用户指定
    2 H2 纯度 工艺控制 98.00～99.99% JNYQ—H－31C
    3 微量氢 工艺控制 0.0～1000PPm JNYQ—H－31M
    4 O2 工艺控制 0.00～25% JNYQ—O－11C
    5 CL2 中微量水 工艺控制 0～10PPm JNYQ—D－22A

kessler_wang 发表于 2010-4-9 12:25:00

谢谢回复,但是我查了下,楼上兄弟给的是用在氯碱/PVC过程气体分析仪,不是多晶硅工艺用到的气体分析吧?

川Q 发表于 2010-4-9 21:21:16

氯气水分在线分析仪，各位坛友有比较了解的吗？一般多晶硅厂家用的是什么类型的？据我所知一般都是现场取样分析，好象没得那种能连续在线测氯气中水分的。

match_0 发表于 2010-4-23 04:29:11

我有多晶硅中CL2水分分析仪器资料，以及那个厂家的几个多晶硅的业绩与验收报告，谁要得，请举手！QQ:541278548,13426363722

kanape 发表于 2011-3-11 17:59:40

回复 5# match_0
    请给我一份资料：zhang9677@263.net
    谢谢！

luoye888 发表于 2011-3-12 08:22:49

在多晶硅中，精馏，氢化还原，尾气回收需要在分析。

kessler_wang 发表于 2010-4-7 10:32:44


大家好,小弟在学习在线气体分析,想请教一下多晶硅工艺中那些气体需要在线分析?   了解工艺详情的大侠请指教.
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