like9175 发表于 2010-11-16 21:10:01

多晶硅的质量分析

一般都能到PPBW级的吧
PPM级估计是专门的TCS生产厂家做的。
多晶硅企业的分析精度要做到PPBa的

硅中人 发表于 2010-11-18 18:11:25

你说的很笼统，纯度按“%”计应分析到小数点后两位，杂质有B、P、Fe、Al、Ca、Cu、Zn、Ni、Mg、Pb、Ti、Cr、Ge等十余种均可准确分析，分析精度国际国内很多厂家都做到了5ppt以下。楼主测到0.1ppm，还是做多晶硅的吗！即使做多晶硅，恐怕也不成规模，还须继续努力！

qingshuang 发表于 2010-11-27 15:58:08

我们都能测到ppb了，不过，准确性有待确认。呵呵。

missyou4ever 发表于 2010-11-28 10:55:37

回复 4# qingshuang
    一般粗精馏的料和买的料，先用ICP检，检不出来再上ICP-MS。精馏之后进还原的料就要用ICP-MS检了。ICP检1ppb以上的，ICP-MS检1ppb以下的。。目前需要解决的问题是ICP-MS检P的问题，如果能检准，对于过程控制有很大的帮助。

like9175 发表于 2010-11-28 15:24:43

磷31的分子量，检测起来，误差确实很大，我们看到分析结果也很纠结。

gysmlhd 发表于 2011-3-7 13:17:52

分析其实对采样和制样对要有严格的规定，这么低的含量，容易污染

gysmlhd 发表于 2011-3-7 13:18:41

分析其实对采样和制样对要有严格的规定，这么低的含量，容易污染

king70868 发表于 2011-3-7 15:14:31

现在国内的检测多说检测到了几个ppb，但是都是估计值。最准确为美国一家实验室，但是工序很多，很复杂。

yushurong 发表于 2011-3-12 19:13:31

宁夏多晶硅分析技术群：119267012

平桥 发表于 2011-3-13 15:17:32

现在一般情况都是bbp 但是由于仪器特别灵敏 在取样和进样的过程中很容易会带入杂质引起误差
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