阳光媚
发表于 2011-3-24 10:38:36
目前也许是硅粉选择的问题吧，合成三氯氢硅的硼含量都在几百至上千PPB，加装了两个粗馏塔，再经一组吸附除硼装置后进入精馏提纯后，可达到小于0.1PPB的硼残留量。
songlinihao
发表于 2011-3-24 10:57:31
加塔和物理吸附同时使用吧，
652786
发表于 2011-3-30 08:33:15
吸附除湿氮还用什么吸附
kouyuhu2004
发表于 2008-10-23 13:33:56
精馏塔提纯三氯氢硅时候，如何能更好的除去硼磷杂质？