还原炉硅棒
这与你们的炉子设计有关!最主要的是温度和气流的控制,还有注意装硅芯时的细节问题! 请问一下,是从底部开始倒得还是中上部?如果是底部,建议检测一下石墨卡瓣的纯度,如果是中上部,建议检查一下硅心粗细是否均匀 3-4天倒炉,与温度控制加电流有关 本人装还原炉整整5年,不过那是80年代的事情了。现在在设计院工作。上面大家分析了各种可能的情况,依我看:(1)气流控制在3,4天后的影响在缩小,时间越长,影响越小;
(2)硅棒底部支撑部分结构可能有问题,支撑和电极的接触部分设计不合理,这个可能性最大;
(3)设备是否有共振现象,需要检查。如果3,4天这段时间倒的最多,过后就少了,共振的嫌疑较大。 有可能是电极设计有问题,导致硅棒在后期因为硅棒重心偏离中性线而致使硅棒倒棒 可能存在如下原因:
1、还原炉系统设备自身问题,在多晶硅棒生长过程中, 从还原炉自身看, 对硅棒的倾倒起到一定作用的主要包括进料气体分布装置[ 3] 和硅芯质量以及还原炉系统的测控装置, 此外, 炉内使用的硅芯的质量也很重要。
2、硅芯长度及质量硅芯的问题在很大程度上也可能导致还原炉的,倒棒现象发生。
3、还原炉系统测控装置还原炉测控装置主要是指还原炉系统的温度、压力及流量的测量和控制, 其中最主要的是还原炉的温度测量控制系统。
4、硅棒安装过程中存在的问题。
5、硅棒生长控制操作中的问题
6、炉内压力波动控制
7、硅芯电流控制。
8、冷却水系统中热水存在气体,二相流,导致设备震动,要定时排气。 谢谢上面各位了 都有道理 回复 3# cjzhx123
应该是从底部开始倒的 情况楼上说的都有一定的关系,得好好查查才是
好久没见到倒棒了,现在倒棒都难啊 回复 5# wiseboy
请问先生所说的共振是指哪些原因造成的,是冷却水流动不均还是其他。
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