隐身猪 发表于 2011-4-1 13:13:45

多晶硅工艺模拟软件？

你说的那两种软件只能模拟单元操作，对还原氢化无效。

tzy_nj_china 发表于 2011-4-1 12:41:38


谁知道目前多晶硅工艺都有那几种模拟软件可以模拟，听人说过，ASPEN可以，PRO II可以，但不知道有没有专用模块，偏差怎么样？
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