硅心横梁下部长菜花状颗粒的原因
原因 长菜花 温度高了（横梁夹角还有两个硅棒的辐射热较难散去）解决 适当调低温度 主要就是使横梁下部温度降低 楼上说温度高是造成爆米花的主要原因，是正确的，但是温度高的原因并没有说正确，横梁连接处的温度是最高的，这个原因不是热量辐射不出去造成的，而是在连接处，由于接触不紧密，局部电阻过大，分压过高，因此局部产生的温度过高，在国外已有不同的硅芯连接方式，能有效降低局部电阻，改善这一部位爆米花的现象
另外，物料的浓度也是影响因素之一，横梁下沿的物料浓度与返混程度均与其它部位有区别（具体来说，物料浓度和返混程度是如何对生长产生影响的，是否可以讨论一下），会造成局部生长速度过快，在本来平整的硅棒表面长出“突点”，这些“突点”又会造成局部温度过高，导致自由基在“突点”处沉积速度更快，最终长成了爆米花........................... 楼上分析相当精辟，受教了 互相学习一下而已
不知道有没有人能深入讨论一下横梁附近物料的分布、返混等等情况对硅棒生长的具体影响 2# wulffor 横梁的夹角度温度最高，温度降了，
其他的地方温度也降了，这样不利于他的成长 温度高是重要一点，另外，料不均匀，在横梁下不分布不均匀。
温度我们可以适当的控制，对于每一相的温度是一样的，但电流应该有分别。然而，料的均匀度就是还原炉的设计所能控制的了！ 物料的均匀问题需要做模拟.............不过还原炉内情况太复杂，如果不是非常精通CFD的话，恐怕做出来的结果也没有什么可信度.........如果有比较可靠的模拟结果，可以对进料入口进行改进，以求达到更好的物料分布
BTW，Fluent实在太难学了........我自己看了一下教程，实在是学不下去....唉.................... 问个低级但又难回答的问题：为什么温度高就形成菜花状呢?多高算过高呢？ 问个低级但又难回答的问题：为什么温度高就形成菜花状呢?多高算过高呢？
jiangkunrong1 发表于 2009-8-7 21:31
登录/注册后可看大图
这个问题很复杂，现在也没有确切的理论形成....
理论上来说，如果表面超过1100°C就可以叫做过高了，但是实际生产控制不了这么精确，超过这一温度是常有的
而超过这个温度后，一方面，表面的沉积可能不均匀，形成了很多细小的“突点”，另一方面，温度高，沉积速率变快，而“突点”部位温度更高，沉积速率更快，最终长成了大块...........
当然，这只是一种简单的，可能的解释而已........... 横梁上面的进气量是会很少了吧！！如果说温度过高的话沉积速度会变快 但是由于进气量的限制 会形成亮点温度太高了的话有可能会熔断横梁
页:
[1]
2