suiak_47 发表于 2011-4-15 14:15:44

影响TCS合成收率的主要因素有：温度、硅粉粒度、料层高度，游离氯、氧和水、HCL流量和纯度。希望给你有帮助。

xshliu2001 发表于 2011-4-15 16:11:13

硅粉的品质，反应器的控制

wqing123456 发表于 2011-4-15 19:25:47

其实是在温度300-400主要是硅粉质量
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