反应过程中硅棒上长出黑黑的东西就像长的毛毛一样,请问下这是什么原因造成的

yuanrs 发表于 2010-12-28 13:09:46

此现象我也看到过，应该是电极温度过高导致石墨夹头溶化所致。

伊甸园 发表于 2010-12-28 15:38:06

检查那段时间的氢气的量
氢气摩尔比太低瞬时量太少也会有同样的问题

ylei100 发表于 2010-12-28 16:46:21

此现象我也看到过，

9769782 发表于 2010-12-28 16:47:11

石墨融化那得多高的温度啊。。。

surely 发表于 2010-12-28 21:43:40

这个其实也是一种硅，叫做不定型硅，主要原因是反映没有控制好

人有傲气 发表于 2010-12-29 21:11:41

这种情况一般是在进料后，半个小就出现了，主要原因还是，硅芯受到了污染，随着生长的进行，黑色物质会逐渐消失，但会夹杂在多晶硅中，最后形成硅芯氧化夹层。所以，一定要注意装拆炉的规范问题。

wl871141 发表于 2010-12-30 01:39:28

我知道这是不定型硅 , 但就是找不到原因. 电极温度不高.配比也正常.它不会消失 ,只会越长越多.只有停炉了.老外也不知道主要是怎么造成的是晓得被污染.我真想fuck you.鬼都知道还用他说

wyc6880 发表于 2010-12-30 10:42:11

可能是流速过大，沉积没完全？

人有傲气 发表于 2010-12-30 15:25:56

回复 8# wl871141
你懂个铲铲哦。

szweiersheng 发表于 2010-12-30 15:57:55

呵呵。
是长毛了，
学人类返祖现象。

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