hycaiqi1688
发表于 2010-12-30 16:25:06
是不定形硅，但产生的原因是放置时间太长，多晶硅升华再结晶所致！
yjyabc123
发表于 2010-12-31 13:30:19
应该是材料方面出了问题
游离在乍浦
发表于 2010-12-31 13:52:06
空烧时温度控制高一点吹扫氢略开大一点 应该会好一点以前那种情况 曾有技术用氯化氢气体在空烧时把硅芯表面腐蚀一下呵呵 现在应该没看见过了应该是太麻烦了
梅香浮月
发表于 2010-12-31 16:10:33
此现象看到过，但是具体原因一致弄不清楚，检测分析是无定形硅。应该是配比或温度、压力、进料流量等控制条件波动造成的。因为同样的条件下其他炉子没有出现此类现象。
ruoshui3000
发表于 2011-1-1 22:23:14
见到好几次了，就那么一截，挺郁闷的。
450064755
发表于 2011-1-2 16:51:57
老子看的这个东西好多回了就是不晓得啥子原因！不晓得你 是说的生长初期还是生长过程中，初期的时候刚进料硅芯表面一哈就有黑的毛毛，生长过程中就长的黑色的针刺状。貌似是管道里面的东西久了没用了有杂物，以及生长过程中温度压力流量等等原因的波动造成的。具体还有待研究
隐身猪
发表于 2011-1-11 09:37:58
氮化硅吧，黑乎乎的，膨松状。
zhufeng2
发表于 2011-1-11 15:16:02
初期是由于电磁吸附的脏东西，应该是进口管道的无定形硅，投料时压力升高过快造成的，运行的炉子出现是还原炉壁没有处理好，炉壁上的无定形硅脱落造成
zhufeng2
发表于 2011-1-11 15:16:13
初期是由于电磁吸附的脏东西，应该是进口管道的无定形硅，投料时压力升高过快造成的，运行的炉子出现是还原炉壁没有处理好，炉壁上的无定形硅脱落造成