450064755 发表于 2010-1-25 22:26:43

无定形硅形成的原因

硅棒生长到中后期时，硅棒时不时的会出现黑色的斑点，说的是无定形硅，和配比有关，请问是H2/sicl3的配比过大还是过小？

laowang1982 发表于 2010-1-26 11:20:31

主要还是温度决定的

feibiao101 发表于 2010-1-26 23:59:08

应该与温度、压力都有关系，但这两个参数应该不会有大的变化。
主要还是配比吧，H2/sicl3的配比过小。

华岭 发表于 2010-1-27 14:09:05

局部进液了，炉内汽化后的低温沉积反应

aids8318 发表于 2010-2-1 11:48:39

多少温度能产生无定型硅？ 2# laowang1982

feibiao101 发表于 2010-2-1 18:39:08

局部进液了，炉内汽化后的低温沉积反应
华岭 发表于 2010-1-27 14:09

                              
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局部进液了没见过，楼上兄弟能将的详细点吗？

251969824 发表于 2010-1-27 14:09:00

局部进液
指的是混合汽中含有未完全汽化的TCS液滴带入炉中

like9175 发表于 2010-2-22 16:33:21

6# feibiao101 就是液态三氯氢硅进入还原炉没有完全气化。
不知道贵厂用的是列壁管，鼓泡器还是换热器。

yuanrs 发表于 2010-2-22 16:37:46

以我的经验，DCS含量多或进料温度过低都会造成硅粉产生（可能就是所说的无定硅吧），不知各位坛友是否有同感，或有其它看法。
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