Si-factory 发表于 2011-5-11 11:22:12

二氯二氢硅产生量（DCS）

使用改良西门子法工艺生产的多晶硅厂，在PCS还原沉积、TCS合成工段会产生DCS，因炉子结构以及使用工况的不同导致产生量的不同，请各位工厂运行大侠盖楼，统计DCS的产生量。

Si-factory 发表于 2011-5-12 11:10:28

没人关注,自己顶一下!
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