kitewxg 发表于 2009-9-12 11:49:38

多晶硅还原炉钟罩清洗

多晶硅生产过程中，多晶硅沉积过程结束后，常需要清洗还原炉的钟罩。这里有几个问题想和大家讨论：、
（1）还原炉钟罩清洗一般采用方法？
（2）清洗剂一般采用去离子水还是碱液或者别的什么物质？
（3）是否有相应的清洁标准可以参考？
（4）清洗液的温度和水压大概是多少？
当然，工艺不同，还原炉的结构尺寸不同，也必然存在清洗方式的不同，请大家给出真知灼见。

mao12345 发表于 2009-9-12 12:56:51

MSA公司有款AKP自动清洗机，先用碱液清洗，再用脱盐水清洗。

南希 发表于 2009-9-15 14:34:08

用碱液和脱盐水，但是有时候还要用到打磨机（此打磨机特制，不会导致炉内物质打火）

ppqiner 发表于 2009-9-15 15:07:28

现在不是有干法清洗吗？不知道怎么样?

zhangrang 发表于 2009-9-15 15:10:49

用金属洗涤剂或脱脂膏清洗，清洗之后用纯水冲干净，必要的时候用丙酮擦一边，再用氮气吹干

ranrui 发表于 2009-9-15 15:53:03

德国凯驰专门做清洗的，可以洗还原炉钟罩，但是没有用过！

Aaron80 发表于 2009-9-15 22:35:25

先浸泡一下，然后可用碱液清洗，最后用纯水冲洗，烘干

9769782 发表于 2009-9-20 12:25:28

也有直接用高压脱盐水直接冲洗的，效果还可以

urga0952 发表于 2009-9-21 16:32:44

老外介绍是用热碱液清洗。

刚会走的小孩 发表于 2009-9-21 19:09:34

用纯水洗   而后用碱液冲一下在用纯水冲干净后用氮气吹干。
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