ctldgs 发表于 2010-2-8 13:21:43

学习了，材料的一致性很重要，保证电阻率相近，发热体的温度梯度接近，生长速率一致。

jianghwing123 发表于 2010-2-23 16:57:24

各位大侠 请问现在有做空心硅芯的吗？

Minos 发表于 2010-2-24 09:13:55

各位大侠 请问现在有做空心硅芯的吗？
jianghwing123 发表于 2010-2-23 16:57

                              
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空心硅芯？怎么做？为什么要做空心的？

sanvey 发表于 2010-2-23 16:57:00

不行，这个行业是靠纯度吃饭的，大家减少杂质还减不过来呢，你还往里弄各种金属，小心赔了夫人，又折兵

sc006 发表于 2010-2-27 11:06:14

影响纯度是最重要的问题，金属杂质的多少是多晶硅质量的一个重要标准；另一方面基材和硅芯的电导率的不同绝对会影响电耗和发热量，限制了硅的沉积速度，和最大直径，增加了电耗。
    现在硅芯的拉制技术在国内已经比较成熟了，没有必要再去用其他的材质去代替硅芯吧。

ruiguobao 发表于 2010-2-27 12:57:23

理论上是可以的，但是如果要做问题还是很多，就怕杂质和温度！

zyc82 发表于 2010-2-28 10:38:21

基材和硅芯的电导率的不同绝对会影响电耗和发热量,能具体说明一下吗，谢谢 ！

zyc82 发表于 2010-2-28 15:07:22

本帖最后由 zyc82 于 2010-2-28 15:10 编辑
7# Minos
利用钽的话，为什么直径做不大呢？，你说后来电阻变大，电流变小，如果我电压加大，又如何呢？

cdwenjian 发表于 2010-2-28 15:08:37

用金属材料在产品里面不好分离，还容易影响多晶硅的纯度（造成污染）。现在我们这里就是用硅芯作为载体都惊颤出现污染的情况，其他的可能更严重！对了，问问大家，你在腐蚀硅芯的时候，使用的纯水的电阻率是多少啊？还有就是硝酸和氢氟酸的配比是多少？

Minos 发表于 2010-2-28 15:26:28

7# Minos
利用钽的话，为什么直径做不大呢？，你说后来电阻变大，电流变小，如果我电压加大，又如何呢？
zyc82 发表于 2010-2-28 15:08

                              
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加大电压也没用，电阻率的差异是不可修复的，直径大了之后只能是内层发热过大造成熔芯，外层温度不够，沉积速率慢
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