硅芯一定的用硅材料的吗
还原炉内的硅芯非的要用硅材料的硅芯才的行吗?如果换以铁、铝、铜等熔点较高的金属作为硅芯,那么硅会沉积在硅芯上吗?为什么?LZ是想解决倒炉的问题吧?目前还没见过其它的,如果用其他材料,高温下必定存在扩散的问题,多晶硅的有效产量必定受到影响;其次1000度以上的高温材料,其本身要有一定的电阻,否则温度加不上去;第三,以前有用过钼丝缠在硅芯上用于加热,然后在用酸洗予以去除,但因成本等问题现在已经不用了; 我知道的有用石墨电极的。 硅芯都是用子晶棒的嘛,电极都是石墨的,呵呵 LZ什么意思
? 2# laowang1982 个人认为不行的,因为金属的电阻率是随温度而升高的,温度高了,电阻变大,电流小甚至没有,就发不了热了,还有就是纯度会受到影响 呵呵,这可不一定
小日本以前有用钽做发热芯来沉积硅棒的,长成硅棒之后用氢氟酸和硝酸的混酸把钽芯溶掉,钽是很稳定的金属,高温下扩散很小,有效硅料的比例很高
另外采用这种方法生产的硅棒,内部可以直接填充掺杂料进行P型或N型的单晶拉制
但是这已经是二十年前的方法了,硅棒直径做不到50厘米,这是因为钽的电阻率远低于硅,硅棒长粗后外部电阻大,电流小,温度不够,无法继续生长 以前的老方法了,关键是长成硅棒了还要想办法除掉那点金属,很麻烦,损耗也大 用金属材料要考虑桂棒长大以后的传热问题,金属的扩散问题,不然产量会受很大的影响。
用硅芯就蛮好的,只要硅芯合格,硅芯和生长的硅棒就是一体的,而且根据扩散理论,硅芯高温状态下,杂质会向表面和两头富集,这为以后的表面腐蚀和两端切除,获得高纯高产量的多晶硅节省很多成本,所以现在都用这个技术,但是硅芯制备中的晶向控制,硅芯长度,杂质含量,弯曲率都要求很高,而且一次可以拉多少硅芯也决定了硅芯的成本。 楼上是个高手!~~~~
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