进料后硅芯出现白色薄膜
刚开始进料时,硅芯表面总会出现一层薄膜状的的皮,随着时间推移不久又被吹掉,什么原因啊,薄膜是什么东西可能是硅的氧化物。空烧的温度不够或时间短,硅心表面上的氧化物不能完全除去, 进料太快了。 1# miaofeng120 可能是炉内气体没有置换干净,残余的水分子和三氯氢硅反应了 也可能是炉内太脏,需要清洗了 硅芯导电后,我觉得只能看到红通通的,能看到白色薄膜吗? 硅芯导电后,我觉得只能看到红通通的,能看到白色薄膜吗?
jiangkunrong1 发表于 2009-8-7 21:22
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那个是异常现象啊..........正常情况当然没有了.... 炉内或管道不干净,有杂物,生产一次就好啦 你们是没见过那个红吧,再异常我觉得也不可能不是红的而是白的呀 炉筒太脏,或者进入尾气
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