zirconium 发表于 2011-6-19 11:38:50

多晶硅原料过滤问题

请问合成三氯氢硅在进入精馏前，需要过滤到的精度是多少，比如--.--微米或纳米?

luoye888 发表于 2011-6-22 15:34:17

一般在泵前安装60的管道过滤器就ok了。

晚熟的孩子 发表于 2011-6-22 15:45:29

好像还真没有什么特别的要求

zirconium 发表于 2011-6-23 22:15:05

回复 2# luoye888
那精馏后的三氯氢硅产品里还含有固体悬浮物吗
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