听风惊梦 发表于 2009-9-21 11:43:25

多晶硅颜色发黑，质地疏松，会导致磷检棒低阻现象吗？

会的   一般在这种情况下   分析出来的结果多不是很让人满意的

urga0952 发表于 2009-9-21 15:49:35

是不是氮气漏进去了。

lvyj1978 发表于 2009-9-22 09:17:08

我想要控制一下多晶硅的生长条件了，重要的是温度、配比要与硅棒直径相匹配。

齐齐2011 发表于 2011-6-29 14:50:19

颜色变黑原因是多晶硅已经被氮化，可能是停炉时氮气置换过多吧，质地疏松原因是在进料的时候较快。

piaowu0335 发表于 2009-9-21 10:17:05


多晶硅颜色发黑，质地疏松，会导致磷检棒低阻现象吗？
由于近期发现多晶硅的硅块颜色发黑，质地疏松，砸碎的时候出现很多粉状的，不想以前砸碎的都是成块状的，但是质谱的检测报告出来，元素含量也不是很高，基本和以前正常的时候差不多，如今的多晶硅做磷检的电阻基本是测不出电阻率，也有点原因可能是磷检棒拉制不成晶，但是还是想问下到底发黑是否和磷检的质量相关。
页: [1]
查看完整版本: 多晶硅颜色发黑，质地疏松，会导致磷检棒低阻现象吗？