wei8jun 发表于 2009-9-1 16:09:06

我们用的德国瓦克MSA炉子是18对棒的 美国GT炉子是24对棒的

yuan880890 发表于 2009-9-1 17:09:52

MSA和GT还原炉不就是硅棒的对数 一样吗?当然电极也 一样.

tao8686886008 发表于 2009-9-1 21:37:51

GT的还原炉有很多的优点,也是未来还原制取多晶硅的发展潮流。

tasjeky 发表于 2011-7-8 09:51:43

不了解情况,观望。

ymlgx 发表于 2011-7-8 09:56:58

GT炉子的直径,棒数都比MSA多,没有视孔氢,在工艺控制上也略有不同

hyjsy 发表于 2011-7-8 10:58:49

GT的还原炉比较节能,单耗远远低于MSA的炉子!

hyjsy 发表于 2011-7-9 16:39:13

GT炉有12、18、24对的,MSA炉目前我们只用过12对的,不过不大好,综合指标甚至不如国产森松的,建议用国产大型还原炉!

liuhuan889396 发表于 2011-7-10 09:52:50

GT是美国货,MSA是德国货,两家设备厂都给国际多晶硅大厂生产过还原炉,但目前为止他们最大的还原炉还只是24对棒的。因为老外很严谨,他们在上新设备时要试验很长时间,确保实用。据说MSA在试验大还原炉时,无法很好的解决中部凹陷的问题,所以一直没有生产

cammy166 发表于 2011-7-20 10:35:03

同意楼上:GT是美国货,MSA是德国货,两家设备厂都给国际多晶硅大厂生产过还原炉,但目前为止他们最大的还原炉还只是24对棒的。因为老外很严谨,他们在上新设备时要试验很长时间,确保实用。据说MSA在试验大还原炉时,无法很好的解决中部凹陷的问题,所以一直没有生产。

ourlive 发表于 2011-7-20 22:02:35

回复 19# cammy166
    MSA已经出24对以上的还原炉了。GT也是。
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查看完整版本: 请问MSA的还原炉CVD 和GT的还原炉CVD 各有啥特点