关于多晶硅湿氮除硼,请指教
据说 湿氮除硼是国外技术目前国内没几家 有没有详细内容拿出来指点一下
我们公司有湿法除硼,不过是一个败作,用水除硼,不知道你们说的湿法是怎么个湿法! 才看到湿氮除硼,这个版块有个老帖!我们是用湿氢气,在三氯氢硅合成工段除硼! 本帖最后由 wangli115 于 2011-9-17 09:23 编辑
湿氮除硼有点危险,你用树脂吸附除硼吧,目前是主流。 树脂除硼技术,是很好的方法。 回复 4# luoye888
湿氮除硼的危险性主要在哪? 大概是知道点就是夹带水分的氮气和氢气 进入 塔底 与重组分也就是高沸物反应生成 二氧化硅 和 络合物有很强的吸附硼的作用 但是具体的 不清楚有这方面的 资料 希望大家别吝啬!!!1 https://bbs.hcbbs.com/thread-674000-1-1.html 回复 6# xingxing_0526
这个问题我在此论他中回复过,也是关于湿氮除硼的。 回复 8# zw1902
有没有详细点得
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