fei841124 发表于 2011-9-16 21:08:02

关于多晶硅湿氮除硼,请指教


据说 湿氮除硼是国外技术目前国内没几家   有没有详细内容拿出来指点一下

zw1902 发表于 2011-9-16 23:01:04

我们公司有湿法除硼,不过是一个败作,用水除硼,不知道你们说的湿法是怎么个湿法!

zw1902 发表于 2011-9-16 23:21:07

才看到湿氮除硼,这个版块有个老帖!我们是用湿氢气,在三氯氢硅合成工段除硼!

luoye888 发表于 2011-9-17 07:54:43

本帖最后由 wangli115 于 2011-9-17 09:23 编辑
湿氮除硼有点危险,你用树脂吸附除硼吧,目前是主流。

ghsd 发表于 2011-9-17 09:05:03

树脂除硼技术,是很好的方法。

xingxing_0526 发表于 2011-9-17 11:21:16

回复 4# luoye888
   湿氮除硼的危险性主要在哪?

fei841124 发表于 2011-9-17 20:23:44

大概是知道点就是夹带水分的氮气和氢气 进入 塔底 与重组分也就是高沸物反应生成 二氧化硅 和 络合物有很强的吸附硼的作用    但是具体的 不清楚有这方面的 资料 希望大家别吝啬!!!1

zw1902 发表于 2011-9-17 21:37:35

https://bbs.hcbbs.com/thread-674000-1-1.html

luoye888 发表于 2011-9-18 09:47:50

回复 6# xingxing_0526
这个问题我在此论他中回复过,也是关于湿氮除硼的。

fei841124 发表于 2011-9-18 19:20:59

回复 8# zw1902
    有没有详细点得
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