冷氢化反应是吸热还是放热？

wangjinger 发表于 2011-9-5 15:36:39

Minos 发表于 2011-9-5 15:48:49

微吸热.........................

251969824 发表于 2011-9-6 17:10:00

当然是吸热啦
不然要加热器干什么

上山打虎 发表于 2011-9-7 08:32:24

回复 2# Minos
TCS的热分解也是吸热反应，冷氢化与热分解好像是互为逆反应，两个都是吸热反应？为什么啊？

wuht0 发表于 2011-9-7 12:01:54

回复 4# 上山打虎
TCS 热分解你指的是多晶硅的生成反应吗？如果是的话，那这两个反应不是同一个反应，怎么不可能都吸热呢？

上山打虎 发表于 2011-9-7 15:36:02

回复 5# wuht0
为什么不是同一个反应呢？冷氢化反应式是Si+H2+SiCl4==SiHCl3，热分解不就是倒过来么？

上山打虎 发表于 2011-9-8 10:49:05

再顶一下，盼有高手来解答！

Minos 发表于 2011-9-8 12:49:49

回复 4# 上山打虎
热分解那是放热反应

上山打虎 发表于 2011-9-9 08:34:14

回复 8# Minos
多谢指点迷津!

Si-factory 发表于 2011-9-9 11:29:26

回复 6# 上山打虎
西门子法的气相沉积工艺的化学反应原理到目前为止仍未有谁能证明是利用2SiHCl3+H2—Si+SiCl4+2HCl来进行，还是一种猜想和行业的约定。

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