rabbit-xiu 发表于 2011-5-21 16:38:56

硅棒长黑斑了

最近有几炉硅棒运行到90小时左右，就发现长了黑斑，我们一般的做法就是提高氢气配比，不知还有什么其它措施可以施救和预防

听风惊梦 发表于 2011-8-6 08:33:01

不光要调整配比，还要适当调整温度，一般情况下这个时候的温度比配比要重要！

luoye888 发表于 2011-8-7 17:23:53

目前就是调整温度和压力，配比

gxq2003 发表于 2011-8-7 19:19:41

同意3楼的意见，还有就是可适当调整挥发器的压力和温度

情合赢 发表于 2011-8-7 19:30:31

如果在这个过程中其他参数没变化的话，那就是温度太高了，其实也不是黑斑，也属于单质硅，

287789398 发表于 2011-8-28 23:02:43

回复 1# rabbit-xiu
    可能是炉筒进气温度太低了，提高炉筒进气温度可以有效解决此问题。
    产生原因：可能是三氯氢硅在进炉筒前反应生成了硅油，硅油随气流喷入炉内，附着在硅棒表面形成黑点。此现象一般在中前期出现。
   出现此问题后，可以线通氢气空烧，黑点会逐渐消失或变少。
   如果消失不了，建议停炉，否则黑点会被长入硅棒内部，影响硅棒质量

374922464 发表于 2011-9-24 11:53:42

温度 压力原料的纯度

z380298197 发表于 2011-9-24 15:23:08

有时停炉后的硅棒表面也有少量黑斑，也不知道是什么原因

summerday 发表于 2011-9-24 17:18:19

停炉后长黑斑是因为停炉的时候已经雾化了。单质硅附着在金属表面

yongdingli1987 发表于 2011-10-7 09:30:31

回复 3# luoye888
    请问温度是高还是低？压力是高还是低？配比拉大还是小呢？
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