Dreamer2012 发表于 2010-11-9 15:07:27

TCS合成硅粉进料

哪位大侠有TCS合成进料好的硅粉进料方法,谢谢了!
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lxx_bluck 发表于 2010-11-9 21:01:18

回复 1# Dreamer2012
    话题不小
个人经验:平稳进料;50mm左右提到一半,80mm左右提到最大料量;后期再收一点

feibiao101 发表于 2010-11-9 21:14:33

圆盘给料机或阀门切换开关。

Si-factory 发表于 2010-11-10 14:51:02

气体吹送—HCl气体挟带

Dreamer2012 发表于 2010-11-11 09:05:21

有没有具体的工艺介绍呢?

最爱小茹乖乖 发表于 2010-11-11 15:25:26

干燥罐下装一盘阀,将硅粉干燥好后点开盘阀,它会自动将硅粉投进炉子里.加料时注意炉子上下的压差,压差一般都是判断加料多少的参数.当压差合适时即可停止加料.当然,如果能连续加料就更好.

tjsttlfm 发表于 2010-11-15 14:16:09

楼上,像你说的这个位置,盘阀用一段时间后就会关不到位

baobeiwwqq 发表于 2010-11-16 10:37:54

回复 2# lxx_bluck
    请问,50mm,80mm是硅粉罐下合成炉内的料位吗?
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