csqddmm 发表于 2011-3-30 10:03:30

除碳的途径

多晶硅里面的碳成分是氯硅烷中的占主要，还是氢气，或者石墨件。大家发表点意见。

sdkjdxlhl 发表于 2011-11-1 08:30:07

以我们的生产情况进行分析（我们采用的是热氢化），氢化炉中石墨内件是产生CH4的主要场所，由于我们的氢化尾气回收与还原尾气回收没有分流回收，导致氢化尾气中的CH4与回收氢气一起进入还原炉中参与反应，导致硅棒里含碳量超标。还原炉石墨底座也会造成硅棒的C污染，不过其污染很小。

lesson 发表于 2011-11-10 09:26:07

回复 2# sdkjdxlhl
分析的很到位啊
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