军军爱晶晶 发表于 2011-11-17 20:55:10

氢气在三氯氢硅合成炉里的作用

氢气在三氯氢硅合成炉里的除了当催化剂的作用还有什么作用

yizhuxuan 发表于 2011-11-17 21:10:33

Si+HCl→→SiHCl3+SiCl4+H2

l4u 发表于 2011-11-17 22:14:58

看到过过氢有利于合成反应的文章 但不理解 似乎只是反应产生的副产物吧

ngf1989 发表于 2011-11-18 15:39:10

Si+ 2H2 + 3SiCl4    4SiHCl3    反应前后一看很明显的

287789398 发表于 2011-11-18 18:45:33

抑制副反应
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whitehong 发表于 2011-11-18 19:40:40

应该还可以带走部分热量

军军爱晶晶 发表于 2011-11-18 20:41:02

但是大部分单位都不用氢气啊
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