hmc54 发表于 2011-11-15 10:24:04

请你来谈谈还原炉油冷却与水冷却的优缺点

现在大多流行用睡冷却还原炉炉筒，也有部分用导热油冷却，请你来谈谈还原炉油冷却与水冷却的优缺点

mian726 发表于 2011-11-17 23:12:59

水冷却可以产生底压二次蒸汽   可以进行热量回收利用   导热油在密闭无尘空间泄露不好处理的   而且多晶硅生产比较怕油

Sunjiafeng 发表于 2011-11-20 11:17:30

还是导热油好的。起炉时对还原炉好加温。

zhuangjz 发表于 2011-11-20 12:04:00

水和油都怕，个人觉得在使用上、成本上、维护上，水比较好点，无毒，易得，泄露危害相对小……
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