dongweiliang 发表于 2011-11-19 12:28:07

生长出来的多晶硅表面菜花状怎么解决

多晶硅表面菜花是怎么形成的，什么原因，生长一炉多晶硅的周期一般都是多少，我厂有一期10天的，二期6天，生长过快对产品质量的都有 那些影响？

一线员工 发表于 2011-11-19 12:47:32

要是给我六天一炉，全是检验料。

程海川 发表于 2011-11-21 10:12:16

这个跟炉内气场的分布有关吧   有待研究

378432794 发表于 2011-11-21 10:21:51

工艺设定不一样吧
你还原炉是多少对棒的
我们以前也是10几天出一炉
现在也就是6,7天地样子

ayst123 发表于 2011-11-22 21:52:12

主要跟气体流速、流量、流向有关，流量大生产周期短，容易形成菜花，硅棒质地脆。合适的流量，生长出来的硅棒质地均匀、密实，断面很有光泽。
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