wangyexiang022@ 发表于 2010-8-21 12:03:57

硅烷、氢气净化

正在做多晶硅项目，想问问各位老师你们的硅烷、氢气都用什么方法在净化呢，工艺包用4A、5A分子筛吸附再生，都一样吗？还有什么方法能大概的介绍一下吗？

luoye888 发表于 2011-11-22 08:48:18

在这个生产过程中还有就是精馏

xingxing916 发表于 2011-11-22 08:59:39

还有就是吸附纯化等

mqm1113021 发表于 2011-11-22 16:36:25

硅烷纯化用精馏，H2纯化用碳吸附塔和解吸

hopef 发表于 2011-11-22 21:47:14

借此机会请教一下 多晶硅项目中，那些工段需要用到捕集器（除雾器）？？

海阔天空1 发表于 2011-12-6 11:05:03

学习中，啥都不懂啊a

yizhuxuan 发表于 2011-12-6 14:06:51

正在做多晶硅项目，想问问各位老师你们的硅烷、氢气都用什么方法在净化呢，工艺包用4A、5A分子筛吸附再生， ...
wangyexiang022@ 发表于 2010-8-21 12:03

                              
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现在通用的硅烷净化用的是多塔精馏的方法，这是目前的主流净化硅烷的方法。
而氢气的净化是在CDI工序中，用活性炭吸附柱进行净化。

287789398 发表于 2010-8-21 12:03:00

回复 5# hopef
    电解水制氢

hopef 发表于 2011-12-6 17:22:21

谢谢8楼的坛友！电解水制氢后的氢气水雾除雾器是吧；三氯氢硅上我们的除雾器已经有很多应用了，如洛阳中硅、三孚硅业、三阳化工、新龙硅业、达康硅业、泰安阳光硅业....希望能够多交流
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