采用硅烷法生产的,现在硅烷法多晶硅生产技术状况怎样?
本帖最后由 jindin312 于 2011-2-24 20:51 编辑目前国内新建多晶硅项目多采用改良西门子法生产,请教各位大侠,目前国内多晶硅项目有没有采用硅烷法生产的,现在硅烷法多晶硅生产技术状况怎样?
回复 1# zkqzhr
六九和南玻都有用到硅烷法,六九在硅烷法有所提升,叫新硅烷法。 六九的硅烷法是美国一家叫什么吗virasa的工艺包。这家我非常了解工艺。 我做的就是硅烷法生产多晶硅我们的硅棒能长到150以上 我做的就是硅烷法生产多晶硅我们的硅棒能长到150以上
wzfrank 发表于 2011-3-8 12:51
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请问你哪里的? 回复 2# ruixiaandyeer
南玻用的不是硅烷法。 国内好像就两家:衢州中宁硅业和河北六九硅业是硅烷法技术!
wzfrank 发表于 2011-3-8 12:51
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我做的就是硅烷法生产多晶硅我们的硅棒能长到150以上
请问你是哪里的?很想和您交流一下可以吗?
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