还原反应后四氯化硅的含量达到36%,是什么原因
请教高手解答,尾气中的四氯化硅的含量到底是多少,有没有标准。因为就应该是这样 本帖最后由 xingxing916 于 2011-11-17 17:06 编辑
一般就这个数值差不多吧,这个和采用的还原炉 工艺 有很大关系的 与进料量关系很大,进料量越大四氯化硅比例会相应降低 这个应该很正常啊,三氯氢硅高温10000度左右分解产物啊 回复 1# 清冷紫玉
完全正常,我们厂尾气不管二十个炉子的总管还是单个炉子的尾气,四氯化硅在质量百分百为百分之四十强。 还原尾气中STC的含量一般在40%左右,还要看你的进料量的大小。 这个值基本上很正常,表征的副反应程度,与炉温、进料配比、运行时间等都会影响这个数值 在还原过程中,DCS和H2,SiHCl3综合作用的结果。 有时候还达到45%以上哦,长得很快
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