yanpeng44581838 发表于 2012-3-20 12:04:51

CVD还原炉对高纯SiHCL3产品的要求

请问各位大虾：CVD还原炉对原料高纯SiHCL3产品的要求是什么？尤其是DCS的含量有控制吗？DCS在CVD还原炉中参与反应是什么？产生什么产物？
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