巴赫 发表于 2011-2-28 09:51:53

怎样测量硅棒直径

目测，找到石墨件的参照物

123419628 发表于 2011-2-28 10:03:56

回复 2# 巴赫
    麻烦请再具体一点，我们这的炉子试镜很小看不到里面的石墨件。您的意思是通过参照物对比么？

ploikj 发表于 2011-2-28 10:27:05

目测，这个要靠经验，可以参考径向速率和沉积时间的计算值。

123419628 发表于 2011-2-28 21:11:14

回复 4# ploikj
    有没有一个误差比较小的计算公式呢？？？

巴赫 发表于 2011-3-1 09:19:40

回复 3# 123419628
当然了啊，不然光靠猜能准吗。量一下固定不变的可见物长度作为参照物

wtuvfhpl 发表于 2011-3-8 05:00:01

目测，多练习-。找参照物对照。

zhl6453384 发表于 2011-3-8 08:27:17

你可以通过视镜和里面硅棒在镜片上做个区域（开炉的时候），初中就学过的根据角度测量高度或直径的

zhl6453384 发表于 2011-3-8 08:28:28

我们拉硅芯就是这样目测的，误差都在0.5mm

程海川 发表于 2011-3-8 19:47:41

视孔小可以看到硅棒就行    根据石墨参照物    和时间就可以大体知道棒径了

wzfrank 发表于 2011-3-8 21:50:48

我们是安装相机在线测量硅棒的宽度哦
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