mian726 发表于 2012-6-5 12:15:22

击穿不成功原因

讨论

xingxing916 发表于 2012-6-5 19:11:00

请将你的问题描述具体点，以便于准确地探讨

sxndi 发表于 2012-6-5 12:29:05

1硅芯电阻率太高；
2 炉温不够，水温最好到130度以上；
3横梁脱落；
4 硅芯太长，同一；
5 炉子内壁太脏（貌似不重要，其实会吃大亏的）；
6 等等

010211 发表于 2012-6-5 21:07:17

5 炉子内壁太脏（貌似不重要，其实会吃大亏的）；
楼上的，对这点，能否详细解释下？？？

龙华夏 发表于 2012-6-5 22:18:58


010211 发表于 2012-6-5 22:18

                              
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5 炉子内壁太脏（貌似不重要，其实会吃大亏的）；
楼上的，对这点，能否详细解释下？？？
炉壁的洁净度应该就是炉内热辐射效应，我觉得跟钟罩抛光亮度的概念差不多吧，自己的理解，还望高手指点。。

dajiahigh 发表于 2012-6-5 23:16:33

3楼说得很多了，但是炉壁脏这点还确实有点不理解，5楼说是热辐射效应，可是在第一对击穿成功之前炉内是不存在热辐射效应的吧，钟罩水的热传导还差不多。
另外我再加一点，击穿时炉压越低，越容易击穿。
出现难击穿的现象时，可以在装硅芯时，每炉配一组电阻率相对低的，装在最外圈（靠近钟罩壁），优先击穿这组。击穿第一组后，适当加点电流，让它烧一会提升炉内温度，再击穿其他的就基本没问题了。

pinguin 发表于 2012-6-5 22:18:00

以前做过试验，内壁不反光的确会影响击穿概率。 甚至有时候外圈中圈都击穿过了，内圈始终没有反应。 所以内壁的清洗是有用的。

jl_1016 发表于 2012-6-6 13:56:57

楼上的总结都挺好，补充一点：在击穿过程中，最大限度（工艺允许的情况下）降低置换气体流量，从而减少气体对硅芯表面温度的损耗，简单点说就是置换量大，硅芯温度就低了，就不容易击穿了。

回味三国liu 发表于 2012-6-13 14:31:31

硅芯阻值不一。启炉是氮气还是氢气，有时候跟这两个也有关系的

龙华夏 发表于 2012-6-13 15:29:42

补充一点四氟套的绝缘有很大关系。。。。。。。。。。。。。。。。。。。凑字你懂个
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