还原炉运行
还原炉怎样开才省电?为什么说雾化会省电?雾化后沉积速率会下降多少? 沉积速率哪些因素有关? 请大家不吝赐教没听说过雾化能省电的,只听说过雾化容易产生不定型硅,我们原来生产的时候,有雾化情况是要当做事故炉直接停下来的。
沉积速率与温度有关系,沉积速率随温度的升高而增加,但是超过一个临界点后,反而随温度的升高而下降。
沉积速率与配比也有关系,氢气量越大,物料分子间碰撞几率越大,沉积速率越高,但氢气量过大的话,又会降低TCS的比例,反而降低沉积速率。
所以,这个东西是辩证的,你得从这两方面去试验,找到最佳的配比与温度的配合关系。
而且实际生产也不是固定不变的,市场好的时候,供不应求,那么可以适当忽视点产品外观,沉积速率提高点;市场不好了,就长慢点,外观长好点,以外观质量取胜----不过,这多晶硅市场特么什么时候才好得起来哦!
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