zwd7710615 发表于 2012-9-5 02:17:54

关于不定型硅

大家好，向大家请教个问题，不定型硅产生的原因是温度低，温度低于多少回产生？   三氯氢硅在900~1050℃会发生分解反应，这个反应生成的是不定型硅吗？   

jiangjiagou 发表于 2012-9-5 15:44:02

低于900℃会发生什么反应导致其生成多晶硅?

zwd7710615 发表于 2012-9-8 13:06:00

无定性硅的产生，大概在400度左右，但是在整个系统中即便你能控制在1000度，设备局部或换热界面同样可能存在多种温度区间，适合各种付反应的产生条件。

wang200425 发表于 2012-9-9 09:00:59

反应是很复杂的，不会向你想象的方向去进行。
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