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zwd7710615
发表于 2012-10-26 14:47:50
流化床法制备多晶硅
现在大家都在致力于流化床工艺的研发,大家可以互相交流下,比如进行到什么程度了,遇到了哪些困难?如何解决的等等
大米1987
发表于 2012-10-26 16:30:14
问题就是壁面沉积,没有办法破碎中间形成的大气泡,形成硅粉,等方面吧
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流化床法制备多晶硅