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› 多晶硅生产中如何选择石墨制设备
pmillec
发表于 2009-12-2 11:36:08
南希 发表于 2009-9-20 17:12
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你说的是多晶硅硅芯下面的石墨夹瓣吗?国产的我认为足够使用,但是一定要根据自己的还原炉设计,不是通用的 ...
请问石墨夹瓣对硅芯击穿的影响大吗?能具体谈谈吗?对这个不太懂,请赐教。。。谢谢
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多晶硅生产中如何选择石墨制设备