chen9899 发表于 2009-6-7 08:35:52

多晶硅生产中如何选择石墨制设备

各位专家，现在多晶硅中用国外的石墨制设备较多，国产的石墨设备能否使用？再一个想请教石墨坩埚（3000吨多晶硅）需要多少及直径，国内及国外有哪些厂家生产，谢谢？

xpxue123 发表于 2009-6-9 08:46:12

我们只生产石墨盐酸合成炉（全自控点火）和石墨换热器

wushaoxiang 发表于 2009-6-11 10:30:45

你们是物理法吗？

阿潘 发表于 2009-9-11 15:43:46

本帖最后由 zjiris 于 2009-9-12 14:12 编辑
是不是做多晶铸锭的？

XNHHSDGM 发表于 2009-9-11 16:34:39

对该工艺不了解，无法做出判断，希望能做一简单介绍。

yuehan 发表于 2009-9-20 04:33:08

多晶硅生产中的石墨化工类设备主要用于氯化氢的合成系统、尾气回收系统及从废弃氯硅烷中回收氯化氢系统，这些设备的种类包括：氯化氢合成炉（有二合一、三合一、四合一等）、吸收塔、气体塔、共沸破除器（用于全新一种废弃物回收工艺）等。除此之外，还有很多石墨元器件，主要用于还原炉和氢化炉中的内件，如石墨夹头、加热棒等。这些石墨设备，国内有厂家生产，主要集中在东北和辽宁，国外也有厂家生产，主要是德国和法国两个厂家，它们都在国内设有工厂。对于上述设备及工艺，由于论述起来篇幅较大，我会在我的博客中详细的叙述：http://blog.sina.com.cn/polysilicontech

yuehan 发表于 2009-9-20 04:39:57

更正与补充：上文中应当是“气提塔”，而不是“气体塔”，对不起，笔误！还有淋洗沉塔也是用石墨制造。

yuehan 发表于 2009-9-20 04:41:10

还有淋洗塔+沉降槽也是用石墨制造。

dyclyt 发表于 2009-9-20 11:09:03

你说的是多晶硅硅芯下面的石墨夹瓣吗？国产的我认为足够使用，但是一定要根据自己的还原炉设计，不是通用的，而且不同尺寸的石墨夹瓣对硅芯的击穿影响较大。

南希 发表于 2009-9-20 17:12:02

你说的是多晶硅硅芯下面的石墨夹瓣吗？国产的我认为足够使用，但是一定要根据自己的还原炉设计，不是通用的，而且不同尺寸的石墨夹瓣对硅芯的击穿影响较大。
南希 发表于 2009-9-20 17:12

                              
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