国内多晶硅装置的主要生产工艺
请各位多晶硅行业的朋友们交流一下:目前,国内建设的多晶硅装置主要生产工艺有哪些?我们这MSA GT 设备各一套,都是改良西门子法 改良西门子法、俄罗斯工艺也有采用,729厂的人有一些自己的工艺
Richardsunhw 发表于 2012-4-15 22:44
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改良西门子法、俄罗斯工艺也有采用,729厂的人有一些自己的工艺
各位专家:改良西门子法与俄罗斯工艺相比,二者有何区别? 现在流行的不是冷氢化工艺么 热氢化和冷氢化都有 热氢化代表死路一条 基本上都是改良西门子法!热氢化的能耗高,成本高!现在降低成本的代表工艺就是冷氢化!
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