007jch 发表于 2011-1-30 11:27:05

石英坩埚上的氮化硅涂层在烘烤后为什么会起泡?

烘烤出来时有起泡现象,这个有没有大侠知道一般是什么原因造成的啊?谢谢啊!
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海云飞 发表于 2011-1-30 14:07:05

研讨过坩埚涂层,真不知道,一些事情只有生产一线才知道。可能是涂层配方问题1

007jch 发表于 2011-1-30 17:11:31

配方不就是氮化硅和纯水吗?配比一般都是1:4啦

007jch 发表于 2011-1-30 17:20:03

SI3N4涂层有没有人测过厚度的?多少厚度比较好呢?

007jch 发表于 2011-1-31 14:06:57

顶g gh sfsfsfsdfsdfsfffsffsdddddddddddddddddddddddddddddd

精密陶瓷球 发表于 2013-12-27 11:32:43

氮化硅分解?氮化硅水解?
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