石英坩埚上的氮化硅涂层在烘烤后为什么会起泡?
烘烤出来时有起泡现象,这个有没有大侠知道一般是什么原因造成的啊?谢谢啊!static/image/smiley/default/handshake.gif
研讨过坩埚涂层,真不知道,一些事情只有生产一线才知道。可能是涂层配方问题1 配方不就是氮化硅和纯水吗?配比一般都是1:4啦 SI3N4涂层有没有人测过厚度的?多少厚度比较好呢? 顶g gh sfsfsfsdfsdfsfffsffsdddddddddddddddddddddddddddddd 氮化硅分解?氮化硅水解?
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