三氯氢硅合成质量波动影响因素探讨
三氯氢硅合成质量波动影响因素探讨:⑴反应温度的影响⑵氧和水分的影响⑶游离氯的控制的影响⑷硅粉粒度和杂质含量的影响,请问还有哪些会对其内在质量影响比较大呢?谢谢你所说的是影响合成液三氯氢硅含量的因素吧
首先把HCL含水要降低,存在游离氯肯定是合成HCL
主要看硅粉(各个厂家不一样)和反应温度
别的内在的不是很明白,求解! 对于三氯氢硅合成工艺来讲,影响的主要因素还在于系统的稳定和生产过程的控制变化,一味保持一定的控制指标会对内在质量产生不可逆的影响。 看着你这个题目我咋就感觉这么熟?除了你说的那些,HCL相对通量,合成炉降温水管,合成炉分布板等都有关系! 我就想知道合成硅粉的B含量 对精馏后的三氯氢硅的B含量影响有多大。。。。。。。
mayingli 发表于 2014-2-10 14:50
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我就想知道合成硅粉的B含量 对精馏后的三氯氢硅的B含量影响有多大。。。。。。。
首先,合成硅粉中B的含量,作为精馏的TCS中B含量的直接来源,影响是比较大的
其次,要看你精馏塔及精馏条件了,增大塔顶低沸物排放量可以有效减小B含量
可以考虑适当通入H2进炉,炉内的沸腾和温度把控是关键。
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