回味三国liu 发表于 2011-12-2 17:09:16

关于氧化夹层问题

本帖最后由 xingxing916 于 2011-12-7 12:40 编辑
在生产当中怎样消除氧化夹层?

yihui007 发表于 2011-12-2 17:10:54

是什么设备,走什么介质等,能不能具体说清楚点?

回味三国liu 发表于 2011-12-2 18:08:02

还原炉生产多晶硅的过程

yizhuxuan 发表于 2011-12-2 18:37:05

还原炉生产多晶硅的过程
回味三国liu 发表于 2011-12-2 18:08

                              
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你是想问雾化现象呢?还是想问氧化层的问题呢?主题内容有冲突啊。

一线员工 发表于 2011-12-2 18:08:00

咨询一下楼主:硅棒长不定性硅的原因?就是硅棒生长期间产生时,继续生产会产生夹层。硅棒生长后期产生时,停炉硅棒表面会有一层绒毛状东西,像蚂蚁上树,底盘有黄色绒毛状。拜谢!!!

虔诚的信徒 发表于 2011-12-7 12:35:16

回复 5# 一线员工
    你说的应该是无定形硅的形成吧,一般都是有两个原因造成的
1.三氯氢硅进料量突然增大,可能由于汽化器压力不稳定造成的,进入炉次的三氯氢硅量多,导致局部氢气分压不足,发生热裂解,附着在硅棒上得粉末状物质,就是无定形硅
2.停炉是由于急停炉,导致炉内的三氯氢硅未完全发生还原反应,发生自身热裂解,形成无定形硅 附着在硅棒或者炉台上,这就是你说的像蚂蚁上树一样的东西吧。

lxx007 发表于 2011-12-7 19:57:06

回复 5# 一线员工
最好传点图片上来,大家看看

coldcz 发表于 2011-12-7 23:10:42

楼主问的是氧化夹层还是温度夹层?
1如果是氧化夹层那一般出现在开炉初期,由于氮气带水形成的。
2如果是硅芯(硅棒)表面带彩,我认为是因为高温环境下硅表面被氮气氮化产生。
3如果是生长过程中产生的温度夹层,主要是由于炉温,炉压,进料流量,电流等影响。
如果是1,那从源头氮气含水量上去想办法
如果是2,尽量减少开炉击穿后氮气置换的时间
如果是3,修改你们的工艺参数

coldcz 发表于 2011-12-8 11:53:40

问题补充,我干这几年生产管理,感觉还原炉质量出现问题,很大一部分都是因为操作责任心的问题,加强洗脑吧

287789398 发表于 2011-12-8 11:54:46

1、加强启炉前系统置换
2、加强硅芯装炉前清洗及存储,避免硅芯污染
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