toyoulv
发表于 2009-11-3 20:44:51
9# 就是平常心 硅芯是在我岗位洗过的!
kitewxg
发表于 2009-11-4 08:51:58
表面氮化和氧化夹层有什么区别?请教各位。
wyc6880
发表于 2009-11-4 09:26:18
生成的无定形硅会造成脱芯等现象,黄色是杂质较多
toyoulv
发表于 2009-11-4 09:53:31
5# zhufeng2
起炉温度低是什么意思啊?那个温度夹层是无定形硅吗?
smilelife001
发表于 2009-11-5 16:37:35
跟硅芯有什么关系,装炉时是要确认硅芯是否清洗的,表面光亮,无杂质的。主要原因使用的启炉方式是什么,是高压还是辐射启炉的。
ltj5678
发表于 2009-11-12 11:20:12
硅芯严重氧化。你那是废品,卖不掉!检查露点
cwhfftq
发表于 2009-11-13 16:38:22
是氧化了,表面是一层薄的氧化层。用混合酸就能洗掉的。
toyoulv
发表于 2009-11-15 19:53:26
16# ltj5678
呵呵,卖是能卖掉的,便宜点不就有人买了。
jiangkunrong1
发表于 2009-12-1 23:01:05
怎么这么多答案 我看人家其实是一炉料 一根硅棒上的图片
华岭
发表于 2009-12-2 22:57:52
第一张是酸腐蚀残留物清洗不彻底第二张第三张是一样的系统存在大量氯硅烷无法置换升温过程造成的