关于硅芯、硅棒接触面发彩发黄的问题（附图）

toyoulv 发表于 2009-10-29 20:40:18

我厂初建，产出的硅棒有问题，其硅芯硅棒接触面时有菜色，褐色，黄色现象，脱芯现象也有。小生附上几张图片，大家讨论讨论原因。（别说什么涉密啦，不便说啦什么的，要么就什么也别说）

toyoulv 发表于 2009-10-29 21:27:42

怎么没人回应啊！？
是氧化吗？是氮化吗？还是硅芯不干净啊？

cq234 发表于 2009-10-30 01:55:05

硅芯硅棒要用盐酸洗过，就不会有问题了。

charles618 发表于 2009-10-30 10:16:49

发彩色的硅芯酸洗不好，脱芯的初始温度低，黄色氧化现象

zhufeng2 发表于 2009-10-30 15:22:26

第一张图彩色是表面氮化，第二张图黄色夹层是炉筒没有处理好，电离吸附，第三张图是起炉温度太低出现温度夹层

zhen169 发表于 2009-10-30 15:35:05

5# zhufeng2
同意

robin-Y 发表于 2009-10-31 18:00:22

蓝色一般都是由于氮化导致的

ffworld 发表于 2009-10-31 18:13:42

第三张图片的脱芯现象很有可能是生长初期带入杂质

就是平常心 发表于 2009-10-31 21:33:00

1 氢赶氮时，抽真空不彻底。
2 硅芯没有进行酸洗
3 有无定形硅生成

toyoulv 发表于 2009-11-3 20:43:37

3# cq234 硅不和盐酸反应的！

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