yf_515 发表于 2012-6-15 08:48
是所有炉子都这样还是只有一台炉子,是每次都是同一组硅芯还是不确定的随机哪一组硅芯出问题?
非常随机的,炉子不一定,生长位置也比较随机,底部,中部,上部以及横梁都出现过,那几组也不确定,正是由于这种情况所以原因一直没有找到,你们出现过这种情况嘛?
硅儿子 发表于 2012-6-14 21:59
那能描述下现象么?比如长的位置是全部还是下端?上端?炉内看的见类似膜状么?黑的?红黄的?白的?还是小 ...
在硅芯的任意位置都出现过,颜色都是黄褐色,黑色也出现过,形状就是一大片一大片,发现迟的话整根棒子都长成那种情况,而且每次沉积速度都比多晶硅要快,不只你们出现过嘛?谈谈你的看法?
jl_1016 发表于 2012-6-16 11:04
登录/注册后可看大图
在硅芯的任意位置都出现过,颜色都是黄褐色,黑色也出现过,形状就是一大片一大片,发现迟的话整根棒子都 ...
是不是很轻,有点像蜂巢哦?你们是刚开车的吗?
1.楼主此类问题是在生长过程中发现的还是停炉后拆炉时发现的;
2.若是生长过程中估计应该是进料温度偏低形成无定形硅;
3.若是拆炉后发现的出现黄色、黑色及其他,较大可能是尾气阀门内漏。
硅儿子 发表于 2012-6-18 05:01
是不是很轻,有点像蜂巢哦?你们是刚开车的吗?
对,有时候想蜂窝状,很轻的,我们运行将近4年了,这个问题始终没有解决哦
skymirror 发表于 2012-6-18 14:41
1.楼主此类问题是在生长过程中发现的还是停炉后拆炉时发现的;2.若是生长过程中估计应该是进料温度偏低形 ...
谢谢坛友解释,
1,我们发现这种情况是在生长过程中,主要是进料后0-18h内;
2,我们的进料温度tcs至少110度,氢气至少60度;
3,至于尾气阀门内漏出现那种情况,没理解坛友的意思。
坛友继续解释啊
jl_1016 发表于 2012-6-18 19:57
登录/注册后可看大图
对,有时候想蜂窝状,很轻的,我们运行将近4年了,这个问题始终没有解决哦
4年都没解决有点不可思议额,这个需要研究下你们的生产流程和一些参数指标,有点敏感。
我有时候都不知道国内多晶硅在现在这个状况下还有什么好保密的,应该大家一起技术交流取长补短抱团取暖才对。
硅儿子 发表于 2012-6-19 13:59
4年都没解决有点不可思议额,这个需要研究下你们的生产流程和一些参数指标,有点敏感。我有时候都不知道 ...
的确啊,四年没解决,的确有些不可思议,我们只是当炉内长不定型硅时,停炉,将长不定型硅的那几组都给换掉,然后重新启炉,这样基本上不影响产量,也不影响质量,所以,到现在还没有解决。不知坛友你们具体是怎样控制的,为何你们不出现这种情况? 把出现这种情况的那一两对的电极更换为新的。 这个问题我在以前说过,不定型硅主要是DCS造成的,这个就与问得和压力有关,要掌握好温度控制。
页:
1
[2]