虔诚的信徒 发表于 2011-11-21 09:53:50

回收氢中甲烷的形成

大家都知道回收氢中,甲烷的带入与硅反应,生成碳化硅,直接导致硅棒的碳含量超标
但是这个甲烷形成,一般都归结于氢气与石墨反应所致,
就针对甲烷形成的条件,坛友们可否给出一个回答?

mian726 发表于 2011-11-21 10:07:58

氢气与石墨反应所致

fuwasi 发表于 2011-11-21 10:21:55

在还原系统中,没有其他地方有碳进入,因此一般认为是石墨参加反应带入所致。

yizhuxuan 发表于 2011-11-21 10:24:51

本帖最后由 yizhuxuan 于 2011-11-21 10:56 编辑
大家都知道回收氢中,甲烷的带入与硅反应,生成碳化硅,直接导致硅棒的碳含量超标
但是这个甲烷形成,一般 ...
虔诚的信徒 发表于 2011-11-21 09:53

                              
登录/注册后可看大图
    LZ可知道有种氢化工艺叫做“热氢化”...热氢化中氢化炉内为碳棒、石墨件,这里是多晶硅碳含量超标的罪魁。

xingxing916 发表于 2011-11-21 09:53:00

应该是C-C发热体所致

虔诚的信徒 发表于 2011-11-21 13:34:28

版主,我们现行工艺就是热氢化,还是比较熟悉
我的问题主要碳和氢气生成甲烷的反应条件是什么?

yizhuxuan 发表于 2011-11-21 16:52:40

版主,我们现行工艺就是热氢化,还是比较熟悉
我的问题主要碳和氢气生成甲烷的反应条件是什么?
虔诚的信徒 发表于 2011-11-21 16:52

                              
登录/注册后可看大图
    1000℃隔绝空气,炭黑与氢气可以反应生成甲烷,这是一个可逆反应。这里你更应该考虑的是炭黑与四氯化硅反应生成碳化硅的反应。

luoye888 发表于 2011-11-21 23:40:26

本帖最后由 xingxing916 于 2011-11-22 08:32 编辑
这个甲烷在TCS合成中也可能产生的,同时还产生一种叫一氯甲烷,在系统的C含量高在氢化和还原时也产生甲烷,同时石墨煅烧不好也会产生的。

虔诚的信徒 发表于 2011-11-21 16:52:00

8楼的坛友解释我觉得更入情理,石墨煅烧的质量,是直接影响产品C含量的主要因素。
同时对谪仙版主的解释说声感谢,接下来主要分析下碳化硅的影响!

378432794 发表于 2011-11-22 08:21:27

我们也遇到了C超标的问题
除了石墨底座 是否要考虑碳钢管造成的C污染
页: [1] 2
查看完整版本: 回收氢中甲烷的形成